產品名稱： 電加熱水洗式尾氣處理器

電加熱水洗式尾氣處理器可以用來處理半導體工藝中產生的有毒氣體。其主要原理是先通過加熱高溫裂解，然后在通過水洗處理的方式對尾氣進行處理，使其達到國家排放標準。該設備對于一些有毒氣體，特別是針對易燃氣體如SIH4，B2H6等，其處理效果非常好。
設備裝有多重安全設施，可用于半導體行業各種工藝后尾氣處理。