產品名稱： 干式尾氣處理器

干式尾氣處理器主要通過吸附劑來吸附半導體工藝智程中所產生的尾氣，從而使其達到國家排放標準。吸附筒中的吸附劑能有效將半導體制程中設備中產生的有毒腐蝕氣體吸附，所產生的壓差由壓力表反饋至控制系統，控制系統做出反應，自動切換至副吸附筒，從而將有毒腐蝕氣體吸收處理。 吸附氣體包括SiHCl3, B2H6，PH3，AsH3，H2S, CO, CO2, SO2, CS2, CL4, H2CCL2 丙酮，乙醇，苯，甲苯，苯乙烯，惡臭物質等。處理效率非常高，最高處理效率可達到98%。