產品名稱： 水洗式尾氣處理器

水洗式尾氣處理器利用水吸收處理尾氣的方式，對半導體工藝制程中產生的尾氣進行處理，達到國家排放標準后進行排放。同時，對于部分氣體還可以進行回收處理，如NH3，HCL等。
該設備處理尾氣時，效率高，最高效率可達到98%；原材料成本低，僅需要水即可；吸收后生成的氨水可回收，等特點。