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水洗式尾氣處理器利用水吸收處理尾氣的方式,對半導體工藝制程中產生的尾氣進行處理,達到國家排放標準后進行排放。同時,對于部分氣體還可以進行回收處理,如NH3,HCL等。 該設備處理尾氣時,效率高,最高效率可達到98%;原材料成本低,僅需要水即可;吸收后生成的氨水可回收,等特點。
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